基板-多層CPC
<p><span style="font-size:16px;"><strong>CPC: CuおよびMoCuとの多層金属結合。 </strong></span></p>
<ul>
<li><span style="font-size:16px;">MoCuよりも高い熱伝導率 (TC) </span></li>
<li><span style="font-size:16px;">Cu </span></li>
</ul>
<p></p>
<p><span style="font-size:16px;"><strong>よりも低い熱膨張係数 (CTE) CMC: CuとMoとの多層金属結合。 </strong></span></p>
<ul>
<li><span style="font-size:16px;">WCuおよびMoCu </span></li>
<li><span style="font-size:16px;">CTEよりも高いTCは安定しており、Si、GaAs、GaNと一致します。 </span></li>
</ul>
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